Универсальная двулучевая система Versa 3D для трехмерной визуализации, определения характеристик материалов, прототипирования и исследований, в том числе и в естественных условиях.
Сочетание в системе двух лучей позволяет исследовать поверхностные и подповерхностные области любых образцов (нанометрового и микрометрового масштаба), а также изготавливать кросс-секции объекта исследования.
Производит подготовку высококачественных образцов для исследований в просвечивающем электронном микроскопе (TEM).
Гибкость конфигурации вакуумного режима прибора позволяет исследовать токопроводящие образцы в в режиме высокого вакуума или токопроводящие и непроводящие образцы в режиме высокого и низкого вакуумов.
Программное обеспечение Auto Slice и View G3 позволяет выполнять трехмерный анализ характеристик широкого спектра материалов.
Имеет возможность проводить динамические эксперименты с газовым и термическим контролем.
Таблица значений разрешения электронного луча (нм) |
Конфигурация системы Versa 3D |
||
Модель |
HiVac |
HiVac/LoVac |
HiVac/LoVac/ESEM |
Разрешение детектора вторичных электронов 30 кВ |
1,2 |
1,2 |
1,2 |
Разрешение детектора вторичных электронов 30 кВ с PC* |
1,0 |
1,0 |
1,0 |
Разрешение сканирующей просвечивающей электронной микроскопии 30 кВ |
0,8 |
0,8 |
0,8 |
Разрешение детектора отраженных электронов 30 кВ |
2,5 |
2,5 |
2,5 |
Разрешение детектора вторичных электронов 15 кВ |
1,5 |
1,5 |
1,5 |
Разрешение детектора вторичных электронов 15 кВ |
1,3 |
1,3 |
1,3 |
Разрешение детектора вторичных электронов 1 кВ |
2,9 |
2,9 |
2,9 |
Разрешение детектора вторичных электронов 1 кВ с BD*+ICD* и PC* |
2,0 |
2,0 |
2,0 |
Разрешение детектора вторичных электронов 30 кВ |
- |
1,5 |
1,5 |
Разрешение детектора отраженных электронов 30 кВ |
- |
2,5 |
2,5 |
Разрешение детектора вторичных электронов 3 кВ |
- |
3,0 |
3,0 |
Разрешение детектора вторичных электронов 30 кВ |
- |
- |
1,5 |
Разрешение детектора вторичных электронов 3 кВ |
- |
- |
3,0 |
* опциональные компоненты |