Электронная колонна Gemini сверхвысокого вакуума:

• высочайшее пространственное разрешение
• наименьший размер пятна электронного пучка
• уникальная производительность в режиме низких энергий
• эффективная микроскопия вторичных электронов

Электронный анализатор Оже-спектрометра NanoSAM: 

• переменное разрешение по энергии
• превосходная чувствительность, многоканальное детектирование

Пробоподготовка для Оже спектроскопии:

• варьирование размера образца
• изменение температуры образца в диапазоне (50-500) K
• наклон плоскости образца ±60°

Оже-спектрометр NanoSAM предназначен как для быстрого и эффективного сбора данных с рутинных образцов, так и для гибкой работы в нетипичных диапазонах параметров на сложных материалах. Кроме того, функциональность NanoSAM может быть расширена с помощью методик дополнительного анализа ключевых характеристик образцов: кристаллической структуры (дифракция отраженных электронов) или структуры магнитных доменов (сканирующая электронная микроскопия с поляризационным анализом). Другими особенностями NanoSAM являются: определение профиля распределения веществ по глубине, зарядовая нейтрализация, фокусируемый ионный пучок и электронно-лучевая литография.